Инженеры из компании Lam Research представили инновационную технологию твердотельного плазменного травления, создающую новые стандарты в области производства полупроводников. Эта технология базируется на методе точного управления плазмой посредством электрически заряженного состояния вещества, что позволяет значительно повысить точность процесса.

Новая разработка, получившая название DirectDrive, обеспечивает контроль с точностью до нескольких ангстремов и производит плазму с чувствительностью, превышающей показатели аналогичных систем в 100 раз. В результате существенно снижается количество дефектов при формировании схем на чипах, что повышает качество и надежность продукции.

Создание данной технологии заняло около 20 лет, и она обещает революционизировать индустрию полупроводников, открывая новые возможности для более точного и безопасного производства микросхем.

Источник: @htech_plus