Разработка высокоточной технологии травления для производства полупроводников
Инженеры из компании Lam Research представили инновационную технологию твердотельного плазменного травления, создающую новые стандарты в области производства полупроводников. Эта технология базируется на методе точного управления плазмой посредством электрически заряженного состояния…